MACHINE APSY-P603

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Sputtering

reconditionné

Descriptif

MACHINE RECONDITIONNEE A NEUF POUR LES DÉPÔTS DE COUCHES MINCES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SUR DES SUBSTRATS JUSQU’A 300MM PAR 300MM VERTICALEMENT.

Système de sputtering très polyvalent, qui permet le dépôt de couche mince diélectrique ou métallique. Elle permet en RF ou en DC sur trois cathodes d’avoir des taux de dépôt très importants avec toujours une très bonne uniformité sur des substrats positionnés horizontalement. Le positionnement vertical permet le traitement de pièces de taille et de forme diverses, jusqu’à 20mm d’épaisseur.

L’ApSy-P603 est optimisé pour faire de la recherche et de la production, grâce à son fonctionnement à deux porte-substrats (palette). Pendant que le dépôt se fait sur l’une, l’autre dégaze dans le sas. Plusieurs options permettent la préparation du substrat, comme le chauffage, l’etching.

Le système est entièrement contrôlé par un ensemble Automate/IHM.

caracteristiques

Tous nos systèmes neufs sont garantis deux ans, interventions sur site en 48h, télémaintenance. Maintenance préventive en fin de période de garantie.

Pompage cryogénique ou turbomoléculaire.

Substrat de 300mm x 300mm.

3 cathodes MAG ou DIOD.

Puissance RF 3KW.

Puissance DC 10KW.

Etching 500W.

Chauffage 0-400°C, +-1.

Défilement palette de 2 à 400cm/min.

supervision

Les fonctions du programme apportent en permanence un support au suivi du déroulement des actions réalisées par le système, sous forme de représentation graphique et dynamique, d’évènements ou encore de courbes.

Archivage et récupération des données Les données du système sont archivées sous le format csv,html pour faciliter la récupération de ces données.

Différents niveaux d’utilisateurs sont disponibles. Chacun d’entre eux cadrant un accès et une utilisation sécurisée en fonction de l’utilisateur.

Chaque action, alarme ou retour est associée à une description textuelle de différents niveaux, bloquante ou non.

Ces évènements sont conservés dans l’historique.

L’interface générale vous offre le plus de données visibles possibles, de type pressions, puissances, mouvements, statuts des différents sous-ensembles du système, etc…

Plusieurs fonctions d’utilisation sont disponibles : production, manuel, cycles et maintenance.

dimensions

Dimensions système :

Hauteur: 1850mm.

Largeur : 1600mm.

Profondeur : 900mm.

Dimensions chambre :

Hauteur: 590mm.

Largeur : 1800mm.

Profondeur : 200mm.

reconditionné