reconditionné
MACHINE APSY-P903
Descriptif
Système de sputtering très polyvalent, qui permet le dépôt de couche mince diélectrique ou métallique. Elle permet en RF ou en DC sur trois cathodes d’avoir des taux de dépôt très importants avec toujours une très bonne uniformité sur des substrats positionnés horizontalement. Le positionnement horizontal permet le traitement de pièces de taille et de forme diverses, jusqu’à 20mm d’épaisseur.
L’ApSy-P903 est optimisé pour faire de la recherche et de la production, grâce à son fonctionnement à deux porte-substrats (palette). Pendant que le dépôt se fait sur l’une, l’autre dégaze dans le sas. Plusieurs options permettent la préparation du substrat, comme le chauffage, l’etching.
Le système est entièrement contrôlé par un ensemble Automate/IHM.
caracteristiques
Tous nos systèmes sont reconditionnés à neufs et garantis un an, interventions sur site en 48h, télémaintenance. Maintenance préventive en fin de période de garantie.
supervision
Les fonctions du programme apportent en permanence un support au suivi du déroulement des actions réalisées par le système, sous forme de représentation graphique et dynamique, d’évènements ou encore de courbes.
Différents niveaux d’utilisateurs sont disponibles. Chacun d’entre eux cadrant un accès et une utilisation sécurisée en fonction de l’utilisateur.
Chaque action, alarme ou retour est associée à une description textuelle de différents niveaux, bloquante ou non.
Ces évènements sont conservés dans l’historique.
L’interface générale vous offre le plus de données visibles possibles, de type pressions, puissances, mouvements, statuts des différents sous-ensembles du système, etc…
Plusieurs fonctions d’utilisation sont disponibles : production, manuel, cycles et maintenance.
dimensions
Dimensions système :
Dimensions chambre :
