RECONDITIONNEMENT
Application-Systeme vous propose depuis près de 20 ans le reconditionnement de divers systèmes PVD, CVD et RIE, total ou partiel. Après un audit personnalisé, nous pouvons reconditionner votre système, ou en trouver un pour vous. Nous nous adaptons à vos exigences techniques et budgétaires.
Le reconditionnement s’intègre aussi dans un cadre de développement durable. La réutilisation d’un matériel reconditionné d’une qualité équivalente à une machine neuve, comprenant la même garantie, pour un cout bien moindre.
– Technologie : PVD, CVD, RIE.
– Reconditionnement de toutes marques : EDWARDS, BALZERS, LEYBOLD, MRC, ALCATEL, STS…
– Installation équipement toutes marques : MKS, INFICON, ADVENCED, TELEMARK, TEMESCAL, LEYBOLD, COMET…
MACHINE EVAPORATION
Nous proposons la revue complète ou partielle de vos systèmes d’évaporation avec différents remplacements de matériels, maintenance corrective, préventive ou améliorative.
Liste des interventions possibles :
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Démontage complet du système.
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Désaccouplement chambre, châssis.
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Thermolaquage de l’ensemble.
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Revue de l’ensemble de l’étanchéité.
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Remplacement groupe de pompage primaire.
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Intégration pompage turbomoléculaire.
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Remplacement des jauges de gestion des pressions.
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Intégration nouveau système de contrôle dépôt.
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Intégration régulation de pression process, argon, azote, oxygène…
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Revue et correction système de rotation porte substrat.
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Mise aux normes ligne d’éffluvage et remplacement contrôle.
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Intégration ligne de refroidissement avec contrôle débit.
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Intégration ensemble automatisme et IHM.
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Mise aux normes électriques et interaction homme machine.
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Garantie un an pièces et main-d'œuvre.
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Maintenance préventive au bout d'un an de garantie.
MACHINE DE PULVERISATION CATHODIQUE
Nous proposons la revue complète ou partielle de vos systèmes de pulvérisation cathodique avec différents remplacements de matériels, maintenance corrective, préventive ou améliorative.
Liste des interventions possibles :
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Démontage complet du système.
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Désaccouplement chambre, châssis.
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Thermolaquage de l’ensemble.
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Revue de l’ensemble de l’étanchéité.
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Remplacement groupe de pompage primaire.
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Intégration baffle et compresseur -10°C.
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Remplacement des jauges de gestion des pressions.
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Intégration cathodes magnétron compatible RF, DC .
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Nouveau générateur RF, DC .
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Intégration régulation de pression process, argon, azote, oxygène…
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Revue et correction système de rotation porte substrat.
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Intégration ligne de refroidissement avec contrôle débit.
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Intégration ensemble automatisme et IHM.
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Mise aux normes électrique et interaction homme machine.
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Garantie un an pièces et main d’œuvre.
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Maintenance préventive au bout d'un an de garantie.
GRAVURE PAR IONS REACTIFS
Nous proposons la revue complète ou partielle de vos systèmes RIE avec différents remplacements de matériels, maintenance corrective, préventive ou améliorative.
Liste des interventions possibles :
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Démontage complet du système.
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Désaccouplement chambre, châssis.
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Modification du châssis pour intégrer l'ensemble de la puissance et l'automatisme.
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Thermolaquage de l’ensemble.
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Revue de l’ensemble de l’étanchéité.
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Suppression de tout le système électronique et informatique de supervision.
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Intégration d'un système complet SIEMENS de supervision (écran tactile, automate).
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Remplacement groupe de pompage primaire.
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Remplacement pompage turbomoléculaire.
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Remplacement des jauges de gestion des pressions.
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Réétalonnage mass flow SF6, CHF3, CF4, O2.
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Intégration d'un nouveau mass flow.
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Intégration ligne de refroidissement avec contrôle débit.
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Mise aux normes électriques et interaction homme machine.
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Garantie un an pièces et main-d'œuvre.
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Maintenance préventive au bout d'un an de garantie.
Depot chimique en phase vapeur assiste par plasma
Nous proposons la revue complète ou partielle de vos systèmes PECVD avec différents remplacements de matériels, maintenance corrective, préventive ou améliorative.
Liste des interventions possibles :
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Démontage complet du système.
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Modification du châssis pour intégrer l'ensemble de la puissance et l'automatisme.
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Revue de l’ensemble de l’étanchéité.
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Suppression de tout le système électronique et informatique de supervision
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Intégration d'un système complet SIEMENS de supervision (écran tactile, automate)
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Remplacement groupe de pompage primaire.
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Remplacement pompage turbomoléculaire.
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Remplacement des jauges de gestion des pressions.
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Remplacement mass flow N2, O2, CF4, N2O, SIH4, NH3
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Intégration de nouveau mass flow.
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Intégration ligne de refroidissement avec contrôle débit.
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Mise aux normes électrique et interaction homme machine.
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Garantie un an pièces et main-d'œuvre.
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Maintenance préventive au bout d'un an de garantie.