Neuf
MACHINE APSY-ELO600
Descriptif
Le système est équipé de deux chambres. La première chambre intègre un canon à électrons et est équipée d’un pompage cryogénique. La deuxième chambre est isolée de la première, elle est équipée de sa propre pompe cryogénique. Nous y retrouvons le porte substrat rotatif de 720mm de diamètre et un système de gravure par source d’ions linéaire.
Le taux d’uniformité de dépôt et de gravure est inférieur à ±5% sur wafers de 6 pouces.
Le canon à ions s’extrait linéairement pour laisser place à l’évaporation.
Le système est entièrement contrôlé par un ensemble Automate/IHM, SIEMENS.
caracteristiques
Tous nos systèmes neufs sont garantis deux ans, interventions sur site en 48h, télémaintenance. Maintenance préventive en fin de période de garantie.
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Pompe cryogénique CT8 et CT10
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Pompe primaire Edwards GSX250
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Jauges pression absolue MKS 974B et pirani 925
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Canon à électron TELEMARK STIH-3CK, 6 x 25cc. Power supply 10Kw
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Obturateur de flux d’évaporation (Shutter)
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Control de dépôt par balance à quartz et contrôleur Inficon XTC3
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Système de rotation de 1 à 20 tr/min, dôme Ø 700mm
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DC Ion Source VEECO 60 x 300mm. Beam energy 100-1500eV
supervision
Les fonctions du programme apportent en permanence un support au suivi du déroulement des actions réalisées par le système, sous forme de représentation graphique et dynamique, d’évènements ou encore de courbes.
Différents niveaux d’utilisateurs sont disponibles. Chacun d’entre eux cadrant un accès et une utilisation sécurisée en fonction de l’utilisateur.
Chaque actions, alarmes ou retours sont associés à une description textuelle de différents niveaux, bloquantes ou non.
Ces évènements sont conservés dans l’historique.
L’interface générale vous offre le plus de données visibles possibles. De type, pressions, puissances, mouvements, statuts des différents sous-ensembles du système, etc…
Plusieurs fonctions d’utilisation sont disponibles : production, manuel, cycles et maintenance;
dimensions
Dimensions système :
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Hauteur: 2200mm.
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Largeur : 1600mm.
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Profondeur : 2000mm.
Dimensions chambre :
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Hauteur: 762mm.
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Largeur : 762mm.
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Profondeur : 1050mm.