neuf
MACHINE APSY-E400
Descriptif
Machine d’évaporation sous vide, par canon à électron, neuve. Elle est composée d’un ensemble d’évaporation par canon à électrons, avec le contrôle du dépôt par balance à quartz.
La chambre en inox 304L finition BRUCH est composée d’une porte en façade avec hublot, qui permet un accès facile pour le chargement, déchargement des substrats.
Nous retrouvons sur la chambre des brides de différentes normes et tailles, permettant l’ajout de tous types de matériels et la possibilité d’un upgrade futur du système.
Le système est entièrement contrôlé par un ensemble Automate/IHM, SIEMENS.
caracteristiques
Tous nos systèmes neufs sont garantis deux ans, interventions sur site en 48h, télémaintenance. Maintenance préventive en fin de période de garantie.
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Pompage cryogénique OB400 et compresseur 9600 CTI
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Pompe primaire PFEIFFER ACP 40, plus roots OKTA250
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Jauges pression absolue MKS 974B et pirani 925
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Ensemble TEMESCAL, canon STIH 2CK avec alimentation CV-12KW
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Shutter d’obturation
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Control de dépôt par balance à quartz et contrôleur Inficon XTC3
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Dôme Ø 780mm, système de rotation débrayable de 1 à 20 tr/min
supervision
Les fonctions du programme apportent en permanence un support au suivi du déroulement des actions réalisées par le système, sous forme de représentation graphique et dynamique, d’évènements ou encore de courbes.
Différents niveaux d’utilisateurs sont disponibles. Chacun d’entre eux cadrant un accès et une utilisation sécurisée en fonction de l’utilisateur.
Chaque actions, alarmes ou retours sont associés à une description textuelle de différents niveaux, bloquantes ou non.
Ces évènements sont conservés dans l’historique.
L’interface générale vous offre le plus de données visibles possibles. De type, pressions, puissances, mouvements, statuts des différents sous-ensembles du système, etc…
Plusieurs fonctions d’utilisation sont disponibles : production, manuel, cycles et maintenance;
dimensions
Dimensions système :
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Hauteur: 2200mm.
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Largeur : 1300mm.
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Profondeur : 2000mm.
Dimensions chambre :
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Hauteur: 762mm.
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Largeur : 762mm.
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Profondeur : 762mm.