Equipement neuf de dépôt sous vide fabriqué par Application-Systeme

Application-Système est en mesure de vous fournir tous types de systèmes de dépôt sous vide, neuf ou reconditionné et les optimisé selon vos besoins.Nous vous accompagnons dans vos projets, n’hésitez pas à faire appel notre expertise gratuite. Nous mettons à votre disposition notre savoir-faire (conseils techniques selon type de dépôt souhaité, etc…) et notre réseaux.

Equipement Neuf

Conception de système sur mesure

Système PVD.
Chambre sur mesure.
Dépôt en mouvement linéaire, rotatif, X, Y, Z.
Pompage primaire (palette, roots scroll..) et secondaire (cryogénique, turbo, à diffusion…)
Chauffage infrarouge, céramique, résistance.
Tous type de mass flow et control valve, mesure de pression par baratron.
Possibilité d’un refroidissement autonome avec un chiller.
Installation de spectromètre.
Elaboration de la supervision selon vos besoins (production, recherche…).
Récupération et exploitation des données.
Normalisation européenne CE des systèmes.

Pulvérisation cathodique.
Tous types de générateur RF et/ou DC.
Cathode planar, INSET…
Etching, usinage.

Evaporation sous vide.
Effet joule avec tous types de boat.
Alimentation effet joule 2KVA, 4KVA.
Toutes tailles de canon électron, simple creusé, multi creusé, 15CC, 25CC, 40CC…
Alimentation canon électron, de 6KW à 12KW.
Mesure et contrôle d’épaisseur par balance a quartz.
Effluvage.

Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
Générateur 13.56MHZ, 380KHZ…
Cathode planar, INSET…
Alternance des hautes et basses fréquences sans coupure.
Gestion des cycles de purge spécifique.
Groupe de pompage adapté.

Accompagnement :
Installation et accompagnement dans le démarrage du système.
Formation sur site via notre agrément centre de formation.
Garantis pièces et main d’œuvre.
Maintenance préventive de fin de garantie.
Fourniture des sources informatique à la fin de garantis.
Suivi de vos systèmes grâce à un contrat de maintenance et/ou télémaintenance.

Système de commande

Pour la fabrication d’équipement neuf ou pour le retrofit de votre équipement, Application-systeme développe et installe un système de commande sûr et performant. Ce système de commande permettra la gestion de la sécurité.Nous utilisons des automates programmable SIEMENS pour piloter le système, avec un ordinateur de type Siemens Touch version Windows CE 6.0 qui assure l’interface homme machine et le stockage et la récupération des données pendant le procédé. D’autres solutions sont aussi possibles, n’hésitez pas à nous consulter.

Nous pouvons adapter la supervision d’une machine, selon les besoins de nos clients.

Fonctions automates : 3 modes

Interface générale
Contrôle et visualisation des mouvements (Shutters, positionnement porte substrats).
Lecture des vides.
Contrôle et gestion des alarmes et de l’historique.
Visualisation interlocks.
Visualisation des courbes.

Mode 1 : Maintenance
Les pages de maintenances vous indiquant les sorties & entrées logique de l’automate, et donne la possibilité d’agir directement sur les actionneurs sans sécurité.

Mode 2 : Manuel
Permet d’utiliser différent cycles prédéfini et paramétrable.
Pompage chambre, ventilation, chauffage, dépôt, gestion pompe Cryogénique, taux de fuite chambre.
Synoptique actif.

Mode 3 : Production
Editions / modifications des recettes de production.
Permet l’enchaînement des cycles selon les recettes établies.

Autres fonctions :

Historique :
Historique des process archivé dans l’IHM par numéro de lot.

Lot :
Numéro de lot paramétrable avec fonction automatique d’identification de l’utilisateur réalisant le process de production sur le numéro de lot.

Données :
Récupération de l’ensemble des données sur réseau local et/ou clés USB.
Données de type process, lots, courbes de vide etc…
Données de type process, lots, courbes de vide etc…

Adaptation d'interface pour équipements de pulvérisation cathodique

Adaptation d'interface pour équipements d' Evaporation

Programmation Automate :

Documentation des automates SIEMENS.
Le programme prendra en totalité l’automatisme de la machine, ceci incluant les vannes et les pompes.
L‘automate S7 T200S programme est constitué d‘un module d‘alimentation, d‘une CPU de modules d‘entrées et de sorties (modules d‘E/S).
L‘automate programmable (AP) contrôle et commande à l‘aide du programme S7 de votre machine. L‘adressage des modules d‘E/S se fait par l‘intermédiaire des adresses du programme S7.
Action manuelle sur tous les actionneurs rétrofités ainsi que sur la visualisation des entrées automates.

Fonction du programme :

Les fonctions du programme apporte un support au suivie du déroulement du procédé en dynamique, sous forme de courbes.
Communication TCPIP / Ethernet Touch à automate.
Toutes les informations du procédé et des paramètres sont conservés dans une mémoire externe connectée au Touch.
Différents niveaux de mots de passe, administrateur ou opérateur.
Utilisation courante de la machine en mode production et manuel. Pages maintenance et paramètre sécurisées par un mot de passe.
Les alarmes sont associées à une description textuelle et sont de différent niveau, soit bloquantes ou soit sous forme d’avertissement. Ces alarmes seront conservées dans une mémoire externe connectée au Touch.
Un synoptique indiquera en permanence l’état du système, avec la possibilité d’agir sur les différentes icônes pour actionner des composants (vannes, pompes, etc..).
Plusieurs pages de maintenances vous indiquant les sorties & entrées logique & analogique de l’automate, et donne la possibilité d’agir directement sur les actionneurs.
Possibilité de piloter et de contrôler à distance la machine. Au travers d’une liaison internet. (Télé-maintenance).